Элионная технология в микро- и наноиндустрии. Неразрушающие методы контроля процессов осаждения и травления наноразмерных пленочных гетерокомпозиций учебное пособие

В учебном пособии рассматриваются неразрушающие методы контроля технологических процессов нанесения и травления наноразмерных пленочных гетерокомпозиций при использовании ионно-плазменного воздействия на материалы. Анализируются как традиционные способы контроля процессов ионно-плазменной обработки...

पूर्ण विवरण

ग्रंथसूची विवरण

स्वरूप:	Книга
विषय:	элионная технология наноэлектроника микроэлектроника неразрушающий метод гетерокомпозиция
ऑनलाइन पहुंच:	Перейти к просмотру издания
टैग :	टैग जोड़ें कोई टैग नहीं, इस रिकॉर्ड को टैग करने वाले पहले व्यक्ति बनें!