Элионная технология в микро- и наноиндустрии. Неразрушающие методы контроля процессов осаждения и травления наноразмерных пленочных гетерокомпозиций учебное пособие

В учебном пособии рассматриваются неразрушающие методы контроля технологических процессов нанесения и травления наноразмерных пленочных гетерокомпозиций при использовании ионно-плазменного воздействия на материалы. Анализируются как традиционные способы контроля процессов ионно-плазменной обработки...

Full beskrivning

Bibliografiska uppgifter

Materialtyp:	Книга
Ämnen:	элионная технология наноэлектроника микроэлектроника неразрушающий метод гетерокомпозиция
Länkar:	Перейти к просмотру издания
Taggar:	Lägg till en tagg Inga taggar, Lägg till första taggen!