Элионная технология в микро- и наноиндустрии. Неразрушающие методы контроля процессов осаждения и травления наноразмерных пленочных гетерокомпозиций учебное пособие

В учебном пособии рассматриваются неразрушающие методы контроля технологических процессов нанесения и травления наноразмерных пленочных гетерокомпозиций при использовании ионно-плазменного воздействия на материалы. Анализируются как традиционные способы контроля процессов ионно-плазменной обработки...

全面介紹

書目詳細資料

格式:	Книга
主題:	элионная технология наноэлектроника микроэлектроника неразрушающий метод гетерокомпозиция
在線閱讀:	Перейти к просмотру издания
標簽:	添加標簽 沒有標簽, 成為第一個標記此記錄!