Технологические комплексы интегрированных процессов производства изделий электроники
Рассмотрены и обобщены результаты исследований и разработок в области создания и функционирования современных технологических комплексов интегрированных процессов производства изделий электроники, начиная от очистки поверхности под ложек ультразвуком, СВЧ-плазмохимической обработки, магнетронного эл...
محفوظ في:
| التنسيق: | Книга |
|---|---|
| الموضوعات: | |
| الوصول للمادة أونلاين: | Перейти к просмотру издания |
| الوسوم: |
إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!
|
| وصف مادي: | Книга находится в премиум-версии IPR SMART. |
|---|---|
| ردمك: | 978-985-08-1993-2 |