Технологические комплексы интегрированных процессов производства изделий электроники
Рассмотрены и обобщены результаты исследований и разработок в области создания и функционирования современных технологических комплексов интегрированных процессов производства изделий электроники, начиная от очистки поверхности под ложек ультразвуком, СВЧ-плазмохимической обработки, магнетронного эл...
Guardat en:
| Format: | Книга |
|---|---|
| Matèries: | |
| Accés en línia: | Перейти к просмотру издания |
| Etiquetes: |
Afegir etiqueta
Sense etiquetes, Sigues el primer a etiquetar aquest registre!
|
| Descripció física: | Книга находится в премиум-версии IPR SMART. |
|---|---|
| ISBN: | 978-985-08-1993-2 |