Градиентная эпитаксия для получения микро- и наноструктур твердых растворов АIIIВV через тонкую газовую зону монография
В монографии представлены физико-химические основы градиентной эпитаксии (ГЭ) в газовой фазе через тонкую зону применительно к многокомпонентным соединениям АIIIВV. Приводится методика и алгоритм расчета по закономерностям роста эпитаксиальных слоев для многокомпонентных твердых растворов соединений...
Guardado en:
Autor principal: | |
---|---|
Formato: | Книга |
Materias: | |
Acceso en línea: | Перейти к просмотру издания |
Etiquetas: |
Agregar Etiqueta
Sin Etiquetas, Sea el primero en etiquetar este registro!
|
Descripción Física: | Книга находится в премиум-версии IPR SMART. |
---|---|
ISBN: | 978-5-9296-0785-1 |