Градиентная эпитаксия для получения микро- и наноструктур твердых растворов АIIIВV через тонкую газовую зону монография
В монографии представлены физико-химические основы градиентной эпитаксии (ГЭ) в газовой фазе через тонкую зону применительно к многокомпонентным соединениям АIIIВV. Приводится методика и алгоритм расчета по закономерностям роста эпитаксиальных слоев для многокомпонентных твердых растворов соединений...
Tallennettuna:
Päätekijä: | |
---|---|
Aineistotyyppi: | Книга |
Aiheet: | |
Linkit: | Перейти к просмотру издания |
Tagit: |
Lisää tagi
Ei tageja, Lisää ensimmäinen tagi!
|
Ulkoasu: | Книга находится в премиум-версии IPR SMART. |
---|---|
ISBN: | 978-5-9296-0785-1 |