Градиентная эпитаксия для получения микро- и наноструктур твердых растворов АIIIВV через тонкую газовую зону монография
В монографии представлены физико-химические основы градиентной эпитаксии (ГЭ) в газовой фазе через тонкую зону применительно к многокомпонентным соединениям АIIIВV. Приводится методика и алгоритм расчета по закономерностям роста эпитаксиальных слоев для многокомпонентных твердых растворов соединений...
Zapisane w:
1. autor: | |
---|---|
Format: | Книга |
Hasła przedmiotowe: | |
Dostęp online: | Перейти к просмотру издания |
Etykiety: |
Dodaj etykietę
Nie ma etykietki, Dołącz pierwszą etykiete!
|
Opis fizyczny: | Книга находится в премиум-версии IPR SMART. |
---|---|
ISBN: | 978-5-9296-0785-1 |