Градиентная эпитаксия для получения микро- и наноструктур твердых растворов АIIIВV через тонкую газовую зону монография
В монографии представлены физико-химические основы градиентной эпитаксии (ГЭ) в газовой фазе через тонкую зону применительно к многокомпонентным соединениям АIIIВV. Приводится методика и алгоритм расчета по закономерностям роста эпитаксиальных слоев для многокомпонентных твердых растворов соединений...
Sparad:
| Huvudupphovsman: | |
|---|---|
| Materialtyp: | Книга |
| Ämnen: | |
| Länkar: | Перейти к просмотру издания |
| Taggar: |
Lägg till en tagg
Inga taggar, Lägg till första taggen!
|
| Fysisk beskrivning: | Книга находится в премиум-версии IPR SMART. |
|---|---|
| ISBN: | 978-5-9296-0785-1 |