Градиентная эпитаксия для получения микро- и наноструктур твердых растворов АIIIВV через тонкую газовую зону монография
В монографии представлены физико-химические основы градиентной эпитаксии (ГЭ) в газовой фазе через тонкую зону применительно к многокомпонентным соединениям АIIIВV. Приводится методика и алгоритм расчета по закономерностям роста эпитаксиальных слоев для многокомпонентных твердых растворов соединений...
Kaydedildi:
Yazar: | |
---|---|
Materyal Türü: | Книга |
Konular: | |
Online Erişim: | Перейти к просмотру издания |
Etiketler: |
Etiketle
Etiket eklenmemiş, İlk siz ekleyin!
|
Fiziksel Özellikler: | Книга находится в премиум-версии IPR SMART. |
---|---|
ISBN: | 978-5-9296-0785-1 |