Градиентная эпитаксия для получения микро- и наноструктур твердых растворов АIIIВV через тонкую газовую зону монография
В монографии представлены физико-химические основы градиентной эпитаксии (ГЭ) в газовой фазе через тонкую зону применительно к многокомпонентным соединениям АIIIВV. Приводится методика и алгоритм расчета по закономерностям роста эпитаксиальных слоев для многокомпонентных твердых растворов соединений...
Сохранить в:
| 主要作者: | |
|---|---|
| 格式: | Книга |
| 主题: | |
| 在线阅读: | Перейти к просмотру издания |
| 标签: |
添加标签
没有标签, 成为第一个标记此记录!
|
