Градиентная эпитаксия для получения микро- и наноструктур твердых растворов АIIIВV через тонкую газовую зону монография
В монографии представлены физико-химические основы градиентной эпитаксии (ГЭ) в газовой фазе через тонкую зону применительно к многокомпонентным соединениям АIIIВV. Приводится методика и алгоритм расчета по закономерностям роста эпитаксиальных слоев для многокомпонентных твердых растворов соединений...
Shranjeno v:
| Glavni avtor: | |
|---|---|
| Format: | Книга |
| Teme: | |
| Online dostop: | Перейти к просмотру издания |
| Oznake: |
Označite
Brez oznak, prvi označite!
|