Градиентная эпитаксия для получения микро- и наноструктур твердых растворов АIIIВV через тонкую газовую зону монография
В монографии представлены физико-химические основы градиентной эпитаксии (ГЭ) в газовой фазе через тонкую зону применительно к многокомпонентным соединениям АIIIВV. Приводится методика и алгоритм расчета по закономерностям роста эпитаксиальных слоев для многокомпонентных твердых растворов соединений...
Сохранить в:
主要作者: | |
---|---|
格式: | Книга |
主題: | |
在線閱讀: | Перейти к просмотру издания |
標簽: |
添加標簽
沒有標簽, 成為第一個標記此記錄!
|