Мехатронные модули и системы в технологическом оборудовании для микроэлектроники учебное пособие
Представлены основы мехатроники. Описано устройство и изложен принцип действия мехатронных модулей и систем, наиболее широко применяемых в технологическом оборудовании полупроводникового производства. Показаны принципы и приемы интеграции компонентов в мехатронных модулях и системах, связующие элеме...
সংরক্ষণ করুন:
প্রধান লেখক: | Камлюк, В. С. (070) |
---|---|
বিন্যাস: | Книга |
বিষয়গুলি: | |
অনলাইন ব্যবহার করুন: | Перейти к просмотру издания |
ট্যাগগুলো: |
ট্যাগ যুক্ত করুন
কোনো ট্যাগ নেই, প্রথমজন হিসাবে ট্যাগ করুন!
|
অনুরূপ উপাদানগুলি
-
Мехатроника: основы, методы, применение учебное пособие
অনুযায়ী: Подураев, Ю. В. -
Детали мехатронных модулей учебное пособие
অনুযায়ী: Таугер, В. М. -
Современное технологическое оборудование для микроэлектроники пособие
অনুযায়ী: Камлюк, В. С. -
Технологическое оборудование для микроэлектроники учебное пособие
অনুযায়ী: Камлюк, В. С. -
Конструирование мехатронных модулей учебное пособие
অনুযায়ী: Таугер, В. М.