Мехатронные модули и системы в технологическом оборудовании для микроэлектроники учебное пособие
Представлены основы мехатроники. Описано устройство и изложен принцип действия мехатронных модулей и систем, наиболее широко применяемых в технологическом оборудовании полупроводникового производства. Показаны принципы и приемы интеграции компонентов в мехатронных модулях и системах, связующие элеме...
Sábháilte in:
Príomhchruthaitheoir: | Камлюк, В. С. (070) |
---|---|
Formáid: | Книга |
Ábhair: | |
Rochtain ar líne: | Перейти к просмотру издания |
Clibeanna: |
Cuir clib leis
Níl clibeanna ann, Bí ar an gcéad duine le clib a chur leis an taifead seo!
|
Míreanna comhchosúla
-
Мехатроника: основы, методы, применение учебное пособие
de réir: Подураев, Ю. В. -
Детали мехатронных модулей учебное пособие
de réir: Таугер, В. М. -
Современное технологическое оборудование для микроэлектроники пособие
de réir: Камлюк, В. С. -
Технологическое оборудование для микроэлектроники учебное пособие
de réir: Камлюк, В. С. -
Конструирование мехатронных модулей учебное пособие
de réir: Таугер, В. М.