Технологическое оборудование для микроэлектроники учебное пособие
Представлено оборудование полупроводникового производства, в том числе и появившееся новое. Описаны принципы действия, устройство оборудования и его отдельных узлов. Исходя из назначения, приведены основные характеристики и требования к оборудованию. Рассмотрены вопросы наладки, регулировки и ремонт...
Sábháilte in:
Príomhchruthaitheoir: | Камлюк, В. С. (070) |
---|---|
Formáid: | Книга |
Ábhair: | |
Rochtain ar líne: | Перейти к просмотру издания |
Clibeanna: |
Cuir clib leis
Níl clibeanna ann, Bí ar an gcéad duine le clib a chur leis an taifead seo!
|
Míreanna comhchosúla
-
Современное технологическое оборудование для микроэлектроники пособие
de réir: Камлюк, В. С. -
Мехатронные модули и системы в технологическом оборудовании для микроэлектроники учебное пособие
de réir: Камлюк, В. С. -
Конструктивно-технологические основы микроэлектроники учебное пособие
de réir: Филяк, М. М. -
Современное производство изделий микроэлектроники учебное пособие
de réir: Васильев, В. Ю. -
Технология интегральных микросхем учебное пособие
de réir: Смирнов, В. И.