Технологическое оборудование для микроэлектроники учебное пособие
Представлено оборудование полупроводникового производства, в том числе и появившееся новое. Описаны принципы действия, устройство оборудования и его отдельных узлов. Исходя из назначения, приведены основные характеристики и требования к оборудованию. Рассмотрены вопросы наладки, регулировки и ремонт...
Salvato in:
| Autore principale: | |
|---|---|
| Natura: | Книга |
| Soggetti: | |
| Accesso online: | Перейти к просмотру издания |
| Tags: |
Aggiungi Tag
Nessun Tag, puoi essere il primo ad aggiungerne! !
|
