Технологическое оборудование для микроэлектроники учебное пособие
Представлено оборудование полупроводникового производства, в том числе и появившееся новое. Описаны принципы действия, устройство оборудования и его отдельных узлов. Исходя из назначения, приведены основные характеристики и требования к оборудованию. Рассмотрены вопросы наладки, регулировки и ремонт...
Na minha lista:
| Autor principal: | |
|---|---|
| Formato: | Книга |
| Assuntos: | |
| Acesso em linha: | Перейти к просмотру издания |
| Tags: |
Adicionar Tag
Sem tags, seja o primeiro a adicionar uma tag!
|
