Фотолитографические технологии в производстве оптических деталей учебное пособие
Изложены основы фотолитографии, виды и способы изготовления оптических шкал. Рассмотрены оптические детали, требующие формирования топологии на поверхности. Пособие предназначено для студентов, обучающихся по направлению «Оптотехника», аспирантов и научных сотрудников, интересующихся фотолитографиче...
Shranjeno v:
| Glavni avtor: | |
|---|---|
| Format: | Книга |
| Teme: | |
| Online dostop: | Перейти к просмотру издания |
| Oznake: |
Označite
Brez oznak, prvi označite!
|
| LEADER | 02633nam0a2200433 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | RU/IPR SMART/68508 | ||
| 856 | 4 | |u https://www.iprbookshop.ru/68508.html |z Перейти к просмотру издания | |
| 801 | 1 | |a RU |b IPR SMART |c 20250903 |g RCR | |
| 010 | |a 978-5-7996-1110-1 | ||
| 205 | |a Фотолитографические технологии в производстве оптических деталей |b 2028-05-01 | ||
| 333 | |a Гарантированный срок размещения в ЭБС до 01.05.2028 (автопролонгация) | ||
| 100 | |a 20250903d2014 k y0rusy01020304ca | ||
| 105 | |a y j 000zy | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 200 | 1 | |a Фотолитографические технологии в производстве оптических деталей |e учебное пособие |f Д. Ю. Кручинин, Е. П. Фарафонтова | |
| 700 | 1 | |a Кручинин, |b Д. Ю. |4 070 | |
| 701 | 1 | |a Фарафонтова, |b Е. П. |4 070 | |
| 330 | |a Изложены основы фотолитографии, виды и способы изготовления оптических шкал. Рассмотрены оптические детали, требующие формирования топологии на поверхности. Пособие предназначено для студентов, обучающихся по направлению «Оптотехника», аспирантов и научных сотрудников, интересующихся фотолитографическими технологиями. | ||
| 210 | |a Екатеринбург |c Уральский федеральный университет, ЭБС АСВ |d 2014 | ||
| 610 | 1 | |a фотолитографическая технология | |
| 610 | 1 | |a производство детали | |
| 610 | 1 | |a оптическая деталь | |
| 610 | 1 | |a фотолитография | |
| 610 | 1 | |a фоторезист | |
| 610 | 1 | |a фотошаблон | |
| 610 | 1 | |a фотолитографическое оборудование | |
| 610 | 1 | |a оптическая шкала | |
| 610 | 1 | |a маскирующее покрытие | |
| 610 | 1 | |a зеркальное покрытие | |
| 675 | |a 776 | ||
| 686 | |a 37.83я73 |2 rubbk | ||
| 300 | |a Книга находится в премиум-версии IPR SMART. | ||
| 106 | |a s | ||
| 230 | |a Электрон. дан. (1 файл) | ||
| 336 | |a Текст | ||
| 337 | |a электронный | ||
| 503 | 0 | |a Доступна эл. версия. IPR SMART | |
| 215 | |a 52 с. | ||