Выращивание кристаллов. Выращивание кристаллических пленок методом магнетронного напыления лабораторный практикум
Практикум включает в себя материал, необходимый для подготовки и проведения лабораторной работы по выращиванию кристаллических пленок методом магнетронного напыления по курсу «Выращивание кристаллов». Изложены основы теории магнетронного напыления, дано описание аппаратуры, методик напыления и оценк...
Сохранить в:
| Формат: | Книга |
|---|---|
| Темы: | |
| Online-ссылка: | Перейти к просмотру издания |
| Метки: |
Добавить метку
Нет меток, Требуется 1-ая метка записи!
|
| LEADER | 04175nam0a2200385 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | RU/IPR SMART/78558 | ||
| 856 | 4 | |u https://www.iprbookshop.ru/78558.html |z Перейти к просмотру издания | |
| 801 | 1 | |a RU |b IPR SMART |c 20250903 |g RCR | |
| 010 | |a 2227-8397 | ||
| 205 | |a Выращивание кристаллов. Выращивание кристаллических пленок методом магнетронного напыления |b 2027-03-01 | ||
| 333 | |a Гарантированный срок размещения в ЭБС до 01.03.2027 (автопролонгация) | ||
| 100 | |a 20250903d2017 k y0rusy01020304ca | ||
| 105 | |a y j 000zy | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 200 | 1 | |a Выращивание кристаллов. Выращивание кристаллических пленок методом магнетронного напыления |e лабораторный практикум |f Ю. Н. Пархоменко, В. В. Антипов, Р. А. Жуков [и др.] | |
| 701 | 1 | |a Пархоменко, |b Ю. Н. |4 070 | |
| 701 | 1 | |a Антипов, |b В. В. |4 070 | |
| 701 | 1 | |a Жуков, |b Р. А. |4 070 | |
| 701 | 1 | |a Кугаенко, |b О. М. |4 070 | |
| 701 | 1 | |a Петраков, |b В. С. |4 070 | |
| 330 | |a Практикум включает в себя материал, необходимый для подготовки и проведения лабораторной работы по выращиванию кристаллических пленок методом магнетронного напыления по курсу «Выращивание кристаллов». Изложены основы теории магнетронного напыления, дано описание аппаратуры, методик напыления и оценки качества полученных кристаллических пленок. Цель лабораторного практикума – приобретение студентами теоретических знаний и практических навыков по напылению монокристаллических пленок с применением метода магнетронного распыления в постоянном и высокочастотном электромагнитном поле. В процессе выполнения лабораторной работы студенты осваивают теорию и метод выращивания кристаллических пленок путем магнетронного напыления, овладевают навыками выбора материала и подготовки подложки для эпитаксиальной кристаллизации, осваивают методику работы и напыляют пленки на установке магнетронного напыления SunPla-40, исследуют структуру и проводят анализ влияния технологических факторов на структуру и физические свойства выращенных кристаллических пленок. Лабораторный практикум предназначен для студентов, обучающихся по направлению подготовки магистров 22.04.01 «Материаловедение и технология материалов» по программе «Кристаллы квантовой и оптической электроники». | ||
| 210 | |a Москва |c Издательский Дом МИСиС |d 2017 | ||
| 610 | 1 | |a схема | |
| 610 | 1 | |a кристалл | |
| 610 | 1 | |a структура | |
| 675 | |a 621.793 | ||
| 686 | |a 34.1 |2 rubbk | ||
| 300 | |a Книга находится в премиум-версии IPR SMART. | ||
| 106 | |a s | ||
| 230 | |a Электрон. дан. (1 файл) | ||
| 336 | |a Текст | ||
| 337 | |a электронный | ||
| 503 | 0 | |a Доступна эл. версия. IPR SMART | |
| 215 | |a 54 с. | ||