Фотонно-стимулированные технологические процессы микро- и нанотехнологии учебное пособие
В пособии рассмотрены взаимодействие световых потоков с полупроводниковой структурой, режимы обработки, процессы отжига и рекристаллизации поликремниевых и аморфных слоев, отжига и легирования полупроводниковых структур, формирование контактно-металлизационной системы, планаризация, а также получени...
Sábháilte in:
| Príomhchruthaitheoir: | |
|---|---|
| Formáid: | Книга |
| Ábhair: | |
| Rochtain ar líne: | Перейти к просмотру издания |
| Clibeanna: |
Cuir clib leis
Níl clibeanna ann, Bí ar an gcéad duine le clib a chur leis an taifead seo!
|
| Cur síos fisiciúil: | Книга находится в премиум-версии IPR SMART. |
|---|---|
| ISBN: | 978-5-9275-2395-5 |