Фотонно-стимулированные технологические процессы микро- и нанотехнологии учебное пособие
В пособии рассмотрены взаимодействие световых потоков с полупроводниковой структурой, режимы обработки, процессы отжига и рекристаллизации поликремниевых и аморфных слоев, отжига и легирования полупроводниковых структур, формирование контактно-металлизационной системы, планаризация, а также получени...
Сохранить в:
| Главный автор: | |
|---|---|
| Формат: | Книга |
| Темы: | |
| Online-ссылка: | Перейти к просмотру издания |
| Метки: |
Добавить метку
Нет меток, Требуется 1-ая метка записи!
|
| LEADER | 03217nam0a2200433 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | RU/IPR SMART/87516 | ||
| 856 | 4 | |u https://www.iprbookshop.ru/87516.html |z Перейти к просмотру издания | |
| 801 | 1 | |a RU |b IPR SMART |c 20250903 |g RCR | |
| 010 | |a 978-5-9275-2395-5 | ||
| 205 | |a Фотонно-стимулированные технологические процессы микро- и нанотехнологии |b 2028-01-01 | ||
| 333 | |a Гарантированный срок размещения в ЭБС до 01.01.2028 (автопролонгация) | ||
| 100 | |a 20250903d2017 k y0rusy01020304ca | ||
| 105 | |a y j 000zy | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 200 | 1 | |a Фотонно-стимулированные технологические процессы микро- и нанотехнологии |e учебное пособие |f А. М. Светличный, И. Л. Житяев | |
| 700 | 1 | |a Светличный, |b А. М. |4 070 | |
| 701 | 1 | |a Житяев, |b И. Л. |4 070 | |
| 330 | |a В пособии рассмотрены взаимодействие световых потоков с полупроводниковой структурой, режимы обработки, процессы отжига и рекристаллизации поликремниевых и аморфных слоев, отжига и легирования полупроводниковых структур, формирование контактно-металлизационной системы, планаризация, а также получение диэлектрических пленок. Учебное пособие может быть использовано при подготовке магистров по направлениям 28.04.01 - Нанотехнологии и микросистемная техника, 11.04.03 - Конструирование и технология электронных средств, 11.04.04 - Электроника и наноэлектроника в курсе «Лучевые процессы нанотехнологии». | ||
| 210 | |a Ростов-на-Дону, Таганрог |c Издательство Южного федерального университета |d 2017 | ||
| 610 | 1 | |a фотонно-стимулированный процесс | |
| 610 | 1 | |a технологический процесс | |
| 610 | 1 | |a микротехнология | |
| 610 | 1 | |a нанотехнология | |
| 610 | 1 | |a фотонное излучение | |
| 610 | 1 | |a полупроводниковая поверхность | |
| 610 | 1 | |a фотонная обработка | |
| 610 | 1 | |a лазерное легирование | |
| 610 | 1 | |a пленка вольфрама | |
| 610 | 1 | |a лазерная планаризация | |
| 675 | |a 621.373 | ||
| 686 | |a 32.847 |2 rubbk | ||
| 300 | |a Книга находится в премиум-версии IPR SMART. | ||
| 106 | |a s | ||
| 230 | |a Электрон. дан. (1 файл) | ||
| 336 | |a Текст | ||
| 337 | |a электронный | ||
| 503 | 0 | |a Доступна эл. версия. IPR SMART | |
| 215 | |a 104 с. | ||