Фотонно-стимулированные технологические процессы микро- и нанотехнологии учебное пособие

В пособии рассмотрены взаимодействие световых потоков с полупроводниковой структурой, режимы обработки, процессы отжига и рекристаллизации поликремниевых и аморфных слоев, отжига и легирования полупроводниковых структур, формирование контактно-металлизационной системы, планаризация, а также получени...

詳細記述

書誌詳細

第一著者:	Светличный, А. М. (070)
フォーマット:	Книга
主題:	фотонно-стимулированный процесс технологический процесс микротехнология нанотехнология фотонное излучение полупроводниковая поверхность фотонная обработка лазерное легирование пленка вольфрама лазерная планаризация
オンライン･アクセス:	Перейти к просмотру издания
タグ:	タグ追加 タグなし, このレコードへの初めてのタグを付けませんか!