Фотонно-стимулированные технологические процессы микро- и нанотехнологии учебное пособие
В пособии рассмотрены взаимодействие световых потоков с полупроводниковой структурой, режимы обработки, процессы отжига и рекристаллизации поликремниевых и аморфных слоев, отжига и легирования полупроводниковых структур, формирование контактно-металлизационной системы, планаризация, а также получени...
সংরক্ষণ করুন:
প্রধান লেখক: | Светличный, А. М. (070) |
---|---|
বিন্যাস: | Книга |
বিষয়গুলি: | |
অনলাইন ব্যবহার করুন: | Перейти к просмотру издания |
ট্যাগগুলো: |
ট্যাগ যুক্ত করুন
কোনো ট্যাগ নেই, প্রথমজন হিসাবে ট্যাগ করুন!
|
অনুরূপ উপাদানগুলি
-
Фотонно-стимулированные технологические процессы микро- и нанотехнологии Учебное пособие
অনুযায়ী: Светличный А.М - Лазеры в микро- и наноэлектронике учебное пособие
-
Микро- и нанотехнологии на основе когерентных и некогерентных источников излучения учебное пособие
অনুযায়ী: Светличный, А. М. -
Технологии многоуровневой металлизации интегральных микросхем учебное пособие
অনুযায়ী: Васильев, В. Ю. -
Основы объемного импульсного лазерного упрочнения инструментальных и конструкционных материалов монография
অনুযায়ী: Пинахин, И. А.