Фотонно-стимулированные технологические процессы микро- и нанотехнологии учебное пособие

Фотонно-стимулированные технологические процессы микро- и нанотехнологии учебное пособие

В пособии рассмотрены взаимодействие световых потоков с полупроводниковой структурой, режимы обработки, процессы отжига и рекристаллизации поликремниевых и аморфных слоев, отжига и легирования полупроводниковых структур, формирование контактно-металлизационной системы, планаризация, а также получени...

Fuld beskrivelse

Сохранить в:

Bibliografiske detaljer
Hovedforfatter:	Светличный, А. М. (070)
Format:	Книга
Fag:	фотонно-стимулированный процесс технологический процесс микротехнология нанотехнология фотонное излучение полупроводниковая поверхность фотонная обработка лазерное легирование пленка вольфрама лазерная планаризация
Online adgang:	Перейти к просмотру издания
Tags:	Tilføj Tag Ingen Tags, Vær først til at tagge denne postø!

Lignende værker

Фотонно-стимулированные технологические процессы микро- и нанотехнологии Учебное пособие
af: Светличный А.М

Лазеры в микро- и наноэлектронике учебное пособие

Микро- и нанотехнологии на основе когерентных и некогерентных источников излучения учебное пособие
af: Светличный, А. М.

Технологии многоуровневой металлизации интегральных микросхем учебное пособие
af: Васильев, В. Ю.

Основы объемного импульсного лазерного упрочнения инструментальных и конструкционных материалов монография
af: Пинахин, И. А.

Нанотехнологии материалов и покрытий учебное пособие
af: Иванов, Н. Б.

Технология химического осаждения пленок халькогенидов металлов учебное пособие

Практика прецизионной лазерной обработки
af: Вакс, Е. Д.

Лазерная и когерентная спектроскопия
af: Стейнфелд Дж, и др.

Безопасность жизнедеятельности. Лазерные излучения учебное пособие
af: Рысин, Ю. С.

Введение в нанотехнологии учебное пособие
af: Тимошина Ю. А.
Udgivet: (2019)

Коррозия и защита материалов учебное пособие

Биомедицинские нанотехнологии
af: Будкевич Е. В.
Udgivet: (2022)

Технологические процессы лазерной обработки
af: Григорьянц А. Г., и др.

Лазерные методы дистанционного обнаружения химических соединений на поверхности тел
af: Скворцов, Л. А.

Физико-химические основы нанотехнологий методические указания

Метрологическое обеспечение дозиметрии фотонного излучения учебное пособие

Квантовая физика и нанотехнологии
af: Неволин, В. К.

Метрологическое обеспечение нанотехнологий и продукции наноиндустрии учебное пособие

Физико-химические основы нанотехнологий и наноматериалов учебное пособие
af: Нажипкызы, М.

Нанотехнологии. Наука, инновации и возможности монография
af: Фостер, Линн

Лазеры: применения и приложения учебное пособие для спо
af: Борейшо А. С.
Udgivet: (2022)

Физические основы нанотехнологий и наноматериалы учебное пособие
af: Смирнов, В. И.

Основы нанотехнологий и наноматериалов учебное пособие
af: Витязь, П. А.

Нанотехнологии в атомной энергетике учебное пособие
af: Мельников, В. Н.

Технология тонких пленок для микро- и наноэлектроники учебное пособие
af: Васильев, В. Ю.

Нанотехнологии в машиностроении
af: Полянчиков Ю. Н., и др.

Основы лазерной физики учебник
af: Бакланов, Е. В.

Нанотехнологии в электронике-3.1

Физика полупроводников и нанотехнологий учебно-методическое пособие
af: Ланге, П. К.

Методы научно-технического творчества в области нанотехнологий учебное пособие

Физика сегодня и завтра
af: Тучкевич В. М.

Обеспечение единства измерений в дозиметрии фотонного излучения учебно-методический модуль
af: Кондратенко, С. Г.

Материалы твёрдотельной микро- и наноэлектроники учебное пособие
af: Брусенцов, Ю. А.

Нанотехнологии в атомной энергетике учебное пособие для спо
af: Мельников, В. Н.

Физические эффекты нанотехнологий учебное пособие
af: Прокофьева, Н. И.

Технологические комплексы интегрированных процессов производства изделий электроники

Плазменное оборудование для нанотехнологий учебное пособие
af: Гребенщикова, М. М.

Инновационные технологии. Введение в нанотехнологии учебное пособие
af: Верещагина, Я. А.

Биомедицинские нанотехнологии учебное пособие
af: Поляков, В. В.