Фотонно-стимулированные технологические процессы микро- и нанотехнологии учебное пособие

Фотонно-стимулированные технологические процессы микро- и нанотехнологии учебное пособие

В пособии рассмотрены взаимодействие световых потоков с полупроводниковой структурой, режимы обработки, процессы отжига и рекристаллизации поликремниевых и аморфных слоев, отжига и легирования полупроводниковых структур, формирование контактно-металлизационной системы, планаризация, а также получени...

保存先:

書誌詳細
第一著者:	Светличный, А. М. (070)
フォーマット:	Книга
主題:	фотонно-стимулированный процесс технологический процесс микротехнология нанотехнология фотонное излучение полупроводниковая поверхность фотонная обработка лазерное легирование пленка вольфрама лазерная планаризация
オンライン･アクセス:	Перейти к просмотру издания
タグ:	タグ追加タグなし, このレコードへの初めてのタグを付けませんか!

類似資料

Фотонно-стимулированные технологические процессы микро- и нанотехнологии Учебное пособие
著者:: Светличный А.М

Лазеры в микро- и наноэлектронике учебное пособие

Микро- и нанотехнологии на основе когерентных и некогерентных источников излучения учебное пособие
著者:: Светличный, А. М.

Технологии многоуровневой металлизации интегральных микросхем учебное пособие
著者:: Васильев, В. Ю.

Основы объемного импульсного лазерного упрочнения инструментальных и конструкционных материалов монография
著者:: Пинахин, И. А.

Нанотехнологии материалов и покрытий учебное пособие
著者:: Иванов, Н. Б.

Технология химического осаждения пленок халькогенидов металлов учебное пособие

Практика прецизионной лазерной обработки
著者:: Вакс, Е. Д.

Лазерная и когерентная спектроскопия
著者:: Стейнфелд Дж, 等

Безопасность жизнедеятельности. Лазерные излучения учебное пособие
著者:: Рысин, Ю. С.

Введение в нанотехнологии учебное пособие
著者:: Тимошина Ю. А.
出版事項: (2019)

Коррозия и защита материалов учебное пособие

Биомедицинские нанотехнологии
著者:: Будкевич Е. В.
出版事項: (2022)

Технологические процессы лазерной обработки
著者:: Григорьянц А. Г., 等

Лазерные методы дистанционного обнаружения химических соединений на поверхности тел
著者:: Скворцов, Л. А.

Физико-химические основы нанотехнологий методические указания

Метрологическое обеспечение дозиметрии фотонного излучения учебное пособие

Квантовая физика и нанотехнологии
著者:: Неволин, В. К.

Метрологическое обеспечение нанотехнологий и продукции наноиндустрии учебное пособие

Физико-химические основы нанотехнологий и наноматериалов учебное пособие
著者:: Нажипкызы, М.

Нанотехнологии. Наука, инновации и возможности монография
著者:: Фостер, Линн

Лазеры: применения и приложения учебное пособие для спо
著者:: Борейшо А. С.
出版事項: (2022)

Физические основы нанотехнологий и наноматериалы учебное пособие
著者:: Смирнов, В. И.

Основы нанотехнологий и наноматериалов учебное пособие
著者:: Витязь, П. А.

Нанотехнологии в атомной энергетике учебное пособие
著者:: Мельников, В. Н.

Технология тонких пленок для микро- и наноэлектроники учебное пособие
著者:: Васильев, В. Ю.

Нанотехнологии в машиностроении
著者:: Полянчиков Ю. Н., 等

Основы лазерной физики учебник
著者:: Бакланов, Е. В.

Нанотехнологии в электронике-3.1

Физика полупроводников и нанотехнологий учебно-методическое пособие
著者:: Ланге, П. К.

Методы научно-технического творчества в области нанотехнологий учебное пособие

Физика сегодня и завтра
著者:: Тучкевич В. М.

Обеспечение единства измерений в дозиметрии фотонного излучения учебно-методический модуль
著者:: Кондратенко, С. Г.

Материалы твёрдотельной микро- и наноэлектроники учебное пособие
著者:: Брусенцов, Ю. А.

Нанотехнологии в атомной энергетике учебное пособие для спо
著者:: Мельников, В. Н.

Физические эффекты нанотехнологий учебное пособие
著者:: Прокофьева, Н. И.

Технологические комплексы интегрированных процессов производства изделий электроники

Плазменное оборудование для нанотехнологий учебное пособие
著者:: Гребенщикова, М. М.

Инновационные технологии. Введение в нанотехнологии учебное пособие
著者:: Верещагина, Я. А.

Биомедицинские нанотехнологии учебное пособие
著者:: Поляков, В. В.