Технологии субмикронных структур микроэлектроники
Рассмотрены и обобщены результаты исследований и разработок в области технологии и оборудования для производства и диагностики субмикронных структур полупроводниковой микроэлектроники. Предназначена для инженерно-технических работников предприятий электронной и других отраслей промышленности, специа...
Сохранить в:
| Формат: | Книга |
|---|---|
| Темы: | |
| Online-ссылка: | Перейти к просмотру издания |
| Метки: |
Добавить метку
Нет меток, Требуется 1-ая метка записи!
|
| LEADER | 03000nam0a2200517 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | RU/IPR SMART/88693 | ||
| 856 | 4 | |u https://www.iprbookshop.ru/88693.html |z Перейти к просмотру издания | |
| 801 | 1 | |a RU |b IPR SMART |c 20250903 |g RCR | |
| 010 | |a 978-985-08-2298-7 | ||
| 205 | |a Технологии субмикронных структур микроэлектроники |b Весь срок охраны авторского права | ||
| 333 | |a Весь срок охраны авторского права | ||
| 100 | |a 20250903d2018 k y0rusy01020304ca | ||
| 105 | |a y j 000zy | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 200 | 1 | |a Технологии субмикронных структур микроэлектроники |f А. П. Достанко, С. В. Бордусов, Д. А. Голосов [и др.] |g под редакцией А. П. Достанко | |
| 701 | 1 | |a Достанко, |b А. П. |4 070 | |
| 701 | 1 | |a Бордусов, |b С. В. |4 070 | |
| 701 | 1 | |a Голосов, |b Д. А. |4 070 | |
| 701 | 1 | |a Завадский, |b С. М. |4 070 | |
| 701 | 1 | |a Колос, |b В. В. |4 070 | |
| 701 | 1 | |a Купо, |b А. Н. |4 070 | |
| 701 | 1 | |a Ланин, |b В. Л. |4 070 | |
| 701 | 1 | |a Лушакова, |b М. С. |4 070 | |
| 701 | 1 | |a Мадвейко, |b С. И. |4 070 | |
| 701 | 1 | |a Мельников, |b С. Н. |4 070 | |
| 701 | 1 | |a Петлицкий, |b А. Н. |4 070 | |
| 701 | 1 | |a Петухов, |b И. Б. |4 070 | |
| 701 | 1 | |a Солодуха, |b В. А. |4 070 | |
| 701 | 1 | |a Телеш, |b Е. В. |4 070 | |
| 702 | 1 | |a Достанко, |b А. П. |4 340 | |
| 330 | |a Рассмотрены и обобщены результаты исследований и разработок в области технологии и оборудования для производства и диагностики субмикронных структур полупроводниковой микроэлектроники. Предназначена для инженерно-технических работников предприятий электронной и других отраслей промышленности, специалистов научно-исследовательских институтов, аспирантов, магистрантов и студентов старших курсов технических вузов. | ||
| 210 | |a Минск |c Белорусская наука |d 2018 | ||
| 610 | 1 | |a электроника | |
| 610 | 1 | |a микроэлектроника | |
| 610 | 1 | |a субмикронная структура | |
| 610 | 1 | |a технология | |
| 675 | |a 621.382 | ||
| 686 | |a 32.85 |2 rubbk | ||
| 300 | |a Книга находится в премиум-версии IPR SMART. | ||
| 106 | |a s | ||
| 230 | |a Электрон. дан. (1 файл) | ||
| 336 | |a Текст | ||
| 337 | |a электронный | ||
| 503 | 0 | |a Доступна эл. версия. IPR SMART | |
| 215 | |a 271 с. | ||