Микроэлектромеханика учебное пособие
Пособие посвящено изучению физических основ явлений, наблюдающихся в микроэлектромеханических системах (МЭМС). Рассматриваются динамические свойства элементов МЭМС, эффекты масштабирования и демпфирования в МЭМС, основные виды МЭМС: электростатические, электромагнитные и пьезоэлектрические, рассмотр...
Gorde:
| Egile nagusia: | |
|---|---|
| Formatua: | Книга |
| Gaiak: | |
| Sarrera elektronikoa: | Перейти к просмотру издания |
| Etiketak: |
Etiketa erantsi
Etiketarik gabe, Izan zaitez lehena erregistro honi etiketa jartzen!
|
| Deskribapen fisikoa: | Книга находится в премиум-версии IPR SMART. |
|---|---|
| ISBN: | 978-5-7782-2901-3 |