Микроэлектромеханика учебное пособие
Пособие посвящено изучению физических основ явлений, наблюдающихся в микроэлектромеханических системах (МЭМС). Рассматриваются динамические свойства элементов МЭМС, эффекты масштабирования и демпфирования в МЭМС, основные виды МЭМС: электростатические, электромагнитные и пьезоэлектрические, рассмотр...
Sparad:
| Huvudupphovsman: | |
|---|---|
| Materialtyp: | Книга |
| Ämnen: | |
| Länkar: | Перейти к просмотру издания |
| Taggar: |
Lägg till en tagg
Inga taggar, Lägg till första taggen!
|
| Fysisk beskrivning: | Книга находится в премиум-версии IPR SMART. |
|---|---|
| ISBN: | 978-5-7782-2901-3 |