Микроэлектромеханика учебное пособие
Пособие посвящено изучению физических основ явлений, наблюдающихся в микроэлектромеханических системах (МЭМС). Рассматриваются динамические свойства элементов МЭМС, эффекты масштабирования и демпфирования в МЭМС, основные виды МЭМС: электростатические, электромагнитные и пьезоэлектрические, рассмотр...
Bewaard in:
| Hoofdauteur: | |
|---|---|
| Formaat: | Книга |
| Onderwerpen: | |
| Online toegang: | Перейти к просмотру издания |
| Tags: |
Voeg label toe
Geen labels, Wees de eerste die dit record labelt!
|
| LEADER | 03970nam0a2200421 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | RU/IPR SMART/91603 | ||
| 856 | 4 | |u https://www.iprbookshop.ru/91603.html |z Перейти к просмотру издания | |
| 801 | 1 | |a RU |b IPR SMART |c 20240904 |g RCR | |
| 010 | |a 978-5-7782-2901-3 | ||
| 205 | |a Микроэлектромеханика |b 2025-02-05 | ||
| 333 | |a Гарантированный срок размещения в ЭБС до 05.02.2025 (автопролонгация) | ||
| 100 | |a 20240904d2016 k y0rusy01020304ca | ||
| 105 | |a y j 000zy | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 200 | 1 | |a Микроэлектромеханика |e учебное пособие |f Д. И. Остертак | |
| 700 | 1 | |a Остертак, |b Д. И. |4 070 | |
| 330 | |a Пособие посвящено изучению физических основ явлений, наблюдающихся в микроэлектромеханических системах (МЭМС). Рассматриваются динамические свойства элементов МЭМС, эффекты масштабирования и демпфирования в МЭМС, основные виды МЭМС: электростатические, электромагнитные и пьезоэлектрические, рассмотрены некоторые примеры и даны задачи для самостоятельного решения. Предназначено для студентов, магистрантов и аспирантов, специализирующихся в области микросистемной техники и МЭМС, а также может быть рекомендовано студентам других специальностей, научным работникам и инженерам, желающим самостоятельно изучать физические принципы работы МЭМС или расширить и систематизировать свои знания в этой области. Работа выполнена при финансовой поддержке Министерства образования и науки РФ в рамках базовой части государственного задания, код проекта 629, тема проекта: «Теория построения и практическая реализация широкополосных микроволновых устройств, предназначенных для использования в измерительном оборудовании цифровых систем телевидения, связи и телекоммуникаций, включая вычислительные системы». | ||
| 210 | |a Новосибирск |c Новосибирский государственный технический университет |d 2016 | ||
| 610 | 1 | |a микроэлектромеханика | |
| 610 | 1 | |a частота колебаний | |
| 610 | 1 | |a механическая система | |
| 610 | 1 | |a резонансная частота | |
| 610 | 1 | |a демпфирование колебания | |
| 610 | 1 | |a вязкое демпфирование | |
| 610 | 1 | |a электростатический преобразователь | |
| 610 | 1 | |a плоскопараллельный актюатор | |
| 610 | 1 | |a электромагнитный преобразователь | |
| 610 | 1 | |a пьезоэлектрический преобразователь | |
| 675 | |a 621.314 | ||
| 686 | |a 32.85 |2 rubbk | ||
| 300 | |a Книга находится в премиум-версии IPR SMART. | ||
| 106 | |a s | ||
| 230 | |a Электрон. дан. (1 файл) | ||
| 336 | |a Текст | ||
| 337 | |a электронный | ||
| 503 | 0 | |a Доступна эл. версия. IPR SMART | |
| 215 | |a 121 с. | ||