Микроэлектромеханика учебное пособие
Пособие посвящено изучению физических основ явлений, наблюдающихся в микроэлектромеханических системах (МЭМС). Рассматриваются динамические свойства элементов МЭМС, эффекты масштабирования и демпфирования в МЭМС, основные виды МЭМС: электростатические, электромагнитные и пьезоэлектрические, рассмотр...
Сохранить в:
Hovedforfatter: | Остертак, Д. И. (070) |
---|---|
Format: | Книга |
Fag: | |
Online adgang: | Перейти к просмотру издания |
Tags: |
Tilføj Tag
Ingen Tags, Vær først til at tagge denne postø!
|
Lignende værker
-
Измерительные преобразователи учебное пособие
af: Кузнецов, В. А. -
Устройства на операционных усилителях учебно-методическое пособие
af: Беляев, В. В. -
Пьезоэлектрические виброизмерительные преобразователи (акселерометры) монография
af: Янчич, В. В. -
О виброзащите бурильных колонн
af: Федорова, Н. Г., и др.
Udgivet: (2018) -
Автоматизированный электропривод машин и установок горного производства. Том 1. Основы электропривода и преобразовательной техники
af: Васильев Б. Ю.
Udgivet: (2022)