Микроэлектромеханика учебное пособие
Пособие посвящено изучению физических основ явлений, наблюдающихся в микроэлектромеханических системах (МЭМС). Рассматриваются динамические свойства элементов МЭМС, эффекты масштабирования и демпфирования в МЭМС, основные виды МЭМС: электростатические, электромагнитные и пьезоэлектрические, рассмотр...
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | Книга |
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | Перейти к просмотру издания |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
