Микроэлектромеханика учебное пособие
Пособие посвящено изучению физических основ явлений, наблюдающихся в микроэлектромеханических системах (МЭМС). Рассматриваются динамические свойства элементов МЭМС, эффекты масштабирования и демпфирования в МЭМС, основные виды МЭМС: электростатические, электромагнитные и пьезоэлектрические, рассмотр...
保存先:
第一著者: | Остертак, Д. И. (070) |
---|---|
フォーマット: | Книга |
主題: | |
オンライン・アクセス: | Перейти к просмотру издания |
タグ: |
タグ追加
タグなし, このレコードへの初めてのタグを付けませんか!
|
類似資料
-
Измерительные преобразователи учебное пособие
著者:: Кузнецов, В. А. -
Устройства на операционных усилителях учебно-методическое пособие
著者:: Беляев, В. В. -
Пьезоэлектрические виброизмерительные преобразователи (акселерометры) монография
著者:: Янчич, В. В. -
О виброзащите бурильных колонн
著者:: Федорова, Н. Г., 等
出版事項: (2018) -
Автоматизированный электропривод машин и установок горного производства. Том 1. Основы электропривода и преобразовательной техники
著者:: Васильев Б. Ю.
出版事項: (2022)