Микроэлектромеханика учебное пособие
Пособие посвящено изучению физических основ явлений, наблюдающихся в микроэлектромеханических системах (МЭМС). Рассматриваются динамические свойства элементов МЭМС, эффекты масштабирования и демпфирования в МЭМС, основные виды МЭМС: электростатические, электромагнитные и пьезоэлектрические, рассмотр...
Shranjeno v:
| Glavni avtor: | |
|---|---|
| Format: | Книга |
| Teme: | |
| Online dostop: | Перейти к просмотру издания |
| Oznake: |
Označite
Brez oznak, prvi označite!
|
