Микроэлектромеханика учебное пособие
Пособие посвящено изучению физических основ явлений, наблюдающихся в микроэлектромеханических системах (МЭМС). Рассматриваются динамические свойства элементов МЭМС, эффекты масштабирования и демпфирования в МЭМС, основные виды МЭМС: электростатические, электромагнитные и пьезоэлектрические, рассмотр...
Saved in:
Main Author: | |
---|---|
Format: | Книга |
Subjects: | |
Online Access: | Перейти к просмотру издания |
Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|