Микроэлектромеханика учебное пособие
Пособие посвящено изучению физических основ явлений, наблюдающихся в микроэлектромеханических системах (МЭМС). Рассматриваются динамические свойства элементов МЭМС, эффекты масштабирования и демпфирования в МЭМС, основные виды МЭМС: электростатические, электромагнитные и пьезоэлектрические, рассмотр...
保存先:
| 第一著者: | |
|---|---|
| フォーマット: | Книга |
| 主題: | |
| オンライン･アクセス: | Перейти к просмотру издания |
| タグ: |
タグ追加
タグなし, このレコードへの初めてのタグを付けませんか!
|