Расчеты процессов очистки и получения пленок и слоев методами физического и химического осаждения учебное пособие
В учебном пособии приводятся теоретические сведения о физико-химических основах получения пленок и слоев методами физического и химического осаждения из парогазовой фазы, а также методах очистки исходных материалов, применяемых в производстве изделий микро- и наноэлектроники, для расчетов процессов...
Sábháilte in:
| Príomhchruthaitheoir: | |
|---|---|
| Formáid: | Книга |
| Ábhair: | |
| Rochtain ar líne: | Перейти к просмотру издания |
| Clibeanna: |
Cuir clib leis
Níl clibeanna ann, Bí ar an gcéad duine le clib a chur leis an taifead seo!
|
| Cur síos fisiciúil: | Книга находится в премиум-версии IPR SMART. |
|---|---|
| ISBN: | 978-5-7731-0798-9 |