Расчеты процессов очистки и получения пленок и слоев методами физического и химического осаждения учебное пособие
В учебном пособии приводятся теоретические сведения о физико-химических основах получения пленок и слоев методами физического и химического осаждения из парогазовой фазы, а также методах очистки исходных материалов, применяемых в производстве изделий микро- и наноэлектроники, для расчетов процессов...
Сохранить в:
| Главный автор: | |
|---|---|
| Формат: | Книга |
| Темы: | |
| Online-ссылка: | Перейти к просмотру издания |
| Метки: |
Добавить метку
Нет меток, Требуется 1-ая метка записи!
|
| LEADER | 02933nam0a2200373 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | RU/IPR SMART/93336 | ||
| 856 | 4 | |u https://www.iprbookshop.ru/93336.html |z Перейти к просмотру издания | |
| 801 | 1 | |a RU |b IPR SMART |c 20250903 |g RCR | |
| 010 | |a 978-5-7731-0798-9 | ||
| 205 | |a Расчеты процессов очистки и получения пленок и слоев методами физического и химического осаждения |b 2030-03-01 | ||
| 333 | |a Гарантированный срок размещения в ЭБС до 01.03.2030 (автопролонгация) | ||
| 100 | |a 20250903d2019 k y0rusy01020304ca | ||
| 105 | |a y j 000zy | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 200 | 1 | |a Расчеты процессов очистки и получения пленок и слоев методами физического и химического осаждения |e учебное пособие |f Г. И. Липатов | |
| 700 | 1 | |a Липатов, |b Г. И. |4 070 | |
| 330 | |a В учебном пособии приводятся теоретические сведения о физико-химических основах получения пленок и слоев методами физического и химического осаждения из парогазовой фазы, а также методах очистки исходных материалов, применяемых в производстве изделий микро- и наноэлектроники, для расчетов процессов очистки и получения пленок и слоев с использованием рассмотренных методов. Издание предназначено для студентов, изучающих дисциплину «Физико-химические основы нанотехнологии» и обучающихся по направлению подготовки 28.03.02 «Наноинженерия» (профиль «Инженерные нанотехнологии в приборостроении»). | ||
| 210 | |a Воронеж |c Воронежский государственный технический университет, ЭБС АСВ |d 2019 | ||
| 610 | 1 | |a полупроводниковая техника | |
| 610 | 1 | |a микроэлектроника | |
| 610 | 1 | |a пленочный материал | |
| 610 | 1 | |a метод | |
| 610 | 1 | |a ректификация | |
| 610 | 1 | |a парогазовая фаза | |
| 675 | |a 62 | ||
| 686 | |a 32.84 |2 rubbk | ||
| 300 | |a Книга находится в премиум-версии IPR SMART. | ||
| 106 | |a s | ||
| 230 | |a Электрон. дан. (1 файл) | ||
| 336 | |a Текст | ||
| 337 | |a электронный | ||
| 503 | 0 | |a Доступна эл. версия. IPR SMART | |
| 215 | |a 85 с. | ||