Расчеты процессов очистки и получения пленок и слоев методами физического и химического осаждения учебное пособие
В учебном пособии приводятся теоретические сведения о физико-химических основах получения пленок и слоев методами физического и химического осаждения из парогазовой фазы, а также методах очистки исходных материалов, применяемых в производстве изделий микро- и наноэлектроники, для расчетов процессов...
Sábháilte in:
Príomhchruthaitheoir: | Липатов, Г. И. (070) |
---|---|
Formáid: | Книга |
Ábhair: | |
Rochtain ar líne: | Перейти к просмотру издания |
Clibeanna: |
Cuir clib leis
Níl clibeanna ann, Bí ar an gcéad duine le clib a chur leis an taifead seo!
|
Míreanna comhchosúla
-
Расчеты процессов очистки и получения пленок и слоев методами физического и химического осаждения учебное пособие
de réir: Липатов, Г. И. - Технология химического осаждения пленок халькогенидов металлов учебное пособие
-
Технология тонких пленок для микро- и наноэлектроники учебное пособие
de réir: Васильев, В. Ю. -
Материалы твёрдотельной микро- и наноэлектроники учебное пособие
de réir: Брусенцов, Ю. А. - Технология получения полимерных пленок из расплавов и методы исследования их свойств учебное пособие