Расчеты процессов очистки и получения пленок и слоев методами физического и химического осаждения учебное пособие
В учебном пособии приводятся теоретические сведения о физико-химических основах получения пленок и слоев методами физического и химического осаждения из парогазовой фазы, а также методах очистки исходных материалов, применяемых в производстве изделий микро- и наноэлектроники, для расчетов процессов...
में बचाया:
मुख्य लेखक: | Липатов, Г. И. (070) |
---|---|
स्वरूप: | Книга |
विषय: | |
ऑनलाइन पहुंच: | Перейти к просмотру издания |
टैग : |
टैग जोड़ें
कोई टैग नहीं, इस रिकॉर्ड को टैग करने वाले पहले व्यक्ति बनें!
|
समान संसाधन
-
Расчеты процессов очистки и получения пленок и слоев методами физического и химического осаждения учебное пособие
द्वारा: Липатов, Г. И. - Технология химического осаждения пленок халькогенидов металлов учебное пособие
-
Технология тонких пленок для микро- и наноэлектроники учебное пособие
द्वारा: Васильев, В. Ю. -
Материалы твёрдотельной микро- и наноэлектроники учебное пособие
द्वारा: Брусенцов, Ю. А. - Технология получения полимерных пленок из расплавов и методы исследования их свойств учебное пособие