Расчеты процессов очистки и получения пленок и слоев методами физического и химического осаждения учебное пособие
В учебном пособии приводятся теоретические сведения о физико-химических основах получения пленок и слоев методами физического и химического осаждения из парогазовой фазы, а также методах очистки исходных материалов, применяемых в производстве изделий микро- и наноэлектроники, для расчетов процессов...
保存先:
第一著者: | Липатов, Г. И. (070) |
---|---|
フォーマット: | Книга |
主題: | |
オンライン・アクセス: | Перейти к просмотру издания |
タグ: |
タグ追加
タグなし, このレコードへの初めてのタグを付けませんか!
|
類似資料
-
Расчеты процессов очистки и получения пленок и слоев методами физического и химического осаждения учебное пособие
著者:: Липатов, Г. И. - Технология химического осаждения пленок халькогенидов металлов учебное пособие
-
Технология тонких пленок для микро- и наноэлектроники учебное пособие
著者:: Васильев, В. Ю. -
Материалы твёрдотельной микро- и наноэлектроники учебное пособие
著者:: Брусенцов, Ю. А. - Технология получения полимерных пленок из расплавов и методы исследования их свойств учебное пособие