Расчеты процессов очистки и получения пленок и слоев методами физического и химического осаждения учебное пособие
В учебном пособии приводятся теоретические сведения о физико-химических основах получения пленок и слоев методами физического и химического осаждения из парогазовой фазы, а также методах очистки исходных материалов, применяемых в производстве изделий микро- и наноэлектроники, для расчетов процессов...
Сохранить в:
| Hovedforfatter: | |
|---|---|
| Format: | Книга |
| Fag: | |
| Online adgang: | Перейти к просмотру издания |
| Tags: |
Tilføj Tag
Ingen Tags, Vær først til at tagge denne postø!
|