МОС-гидридная эпитаксия в технологии материалов фотоники и электроники
В книге рассмотрены теоретические и практические аспекты МОС-гидридной эпитаксии (МОСГЭ) – одного из наиболее гибких и производительных современных методов получения полупроводниковых структур. Кратко изложены физико-химические основы метода, приведено описание высокопроизводительного технологическо...
Сохранить в:
主要作者: | Акчурин, Р. Х. (070) |
---|---|
格式: | Книга |
主题: | |
在线阅读: | Перейти к просмотру издания |
标签: |
添加标签
没有标签, 成为第一个标记此记录!
|
相似书籍
-
Технология приборов оптической электроники и фотоники учебное пособие
由: Орликов, Л. Н. -
Медиаобразовательная среда учебное пособие
由: Гудилина, С. И. -
Энергетика
由: Стырикович М. А., и др. - Нетрадиционные и возобновляемые источники энергии учебное пособие
- Источники питания учебное пособие