Индуктивные источники высокоплотной плазмы и их технологические применения
Тенденции развития современной технологии электронной техники заключаются в увеличении степени интеграции изделий на поверхности подложек, что связано как с увеличением диаметра применяемых в производстве подложек, так и с уменьшением геометрических размеров элементов изделий на их поверхности до 0,...
Sparad:
| Huvudupphovsman: | |
|---|---|
| Materialtyp: | Книга |
| Ämnen: | |
| Länkar: | Перейти к просмотру издания |
| Taggar: |
Lägg till en tagg
Inga taggar, Lägg till första taggen!
|
| Fysisk beskrivning: | Книга находится в премиум-версии IPR SMART. |
|---|---|
| ISBN: | 978-5-94836-519-0 |