Индуктивные источники высокоплотной плазмы и их технологические применения
Тенденции развития современной технологии электронной техники заключаются в увеличении степени интеграции изделий на поверхности подложек, что связано как с увеличением диаметра применяемых в производстве подложек, так и с уменьшением геометрических размеров элементов изделий на их поверхности до 0,...
Kaydedildi:
| Yazar: | |
|---|---|
| Materyal Türü: | Книга |
| Konular: | |
| Online Erişim: | Перейти к просмотру издания |
| Etiketler: |
Etiketle
Etiket eklenmemiş, İlk siz ekleyin!
|
| Fiziksel Özellikler: | Книга находится в премиум-версии IPR SMART. |
|---|---|
| ISBN: | 978-5-94836-519-0 |