Индуктивные источники высокоплотной плазмы и их технологические применения
Тенденции развития современной технологии электронной техники заключаются в увеличении степени интеграции изделий на поверхности подложек, что связано как с увеличением диаметра применяемых в производстве подложек, так и с уменьшением геометрических размеров элементов изделий на их поверхности до 0,...
Sábháilte in:
Príomhchruthaitheoir: | Берлин, Е. В. (070) |
---|---|
Formáid: | Книга |
Ábhair: | |
Rochtain ar líne: | Перейти к просмотру издания |
Clibeanna: |
Cuir clib leis
Níl clibeanna ann, Bí ar an gcéad duine le clib a chur leis an taifead seo!
|
Míreanna comhchosúla
-
Основы физики плазмы
de réir: Голант В. Е.
Foilsithe / Cruthaithe: (2022) -
Двухжидкостная электромагнитная гидродинамика
de réir: Гавриков М. Б. -
Теория плазмы
de réir: Рожанский В. А.
Foilsithe / Cruthaithe: (2022) -
Физические основы электрического пробоя газов
de réir: Дьяков А. Ф., et al. -
Лекции по физике плазмы. Том 1. Основы физики плазмы учебное пособие для вузов
de réir: Котельников И. А.
Foilsithe / Cruthaithe: (2023)