Микро- и нанотехнологии на основе когерентных и некогерентных источников излучения учебное пособие
В пособии рассмотрены особенности обработки материалов и полупроводниковых структур лазерными и некогерентными источниками излучения: используемое оборудование, виды источников излучения, их применение для контроля технологических процессов изготовления микроструктур, получения графеновых пленок, из...
Spremljeno u:
Glavni autor: | |
---|---|
Format: | Книга |
Teme: | |
Online pristup: | Перейти к просмотру издания |
Oznake: |
Dodaj oznaku
Bez oznaka, Budi prvi tko označuje ovaj zapis!
|
Opis: | Книга находится в премиум-версии IPR SMART. |
---|---|
ISBN: | 978-5-9275-3097-7 |