Микро- и нанотехнологии на основе когерентных и некогерентных источников излучения учебное пособие
В пособии рассмотрены особенности обработки материалов и полупроводниковых структур лазерными и некогерентными источниками излучения: используемое оборудование, виды источников излучения, их применение для контроля технологических процессов изготовления микроструктур, получения графеновых пленок, из...
Guardat en:
Autor principal: | Светличный, А. М. (070) |
---|---|
Format: | Книга |
Matèries: | |
Accés en línia: | Перейти к просмотру издания |
Etiquetes: |
Afegir etiqueta
Sense etiquetes, Sigues el primer a etiquetar aquest registre!
|
Ítems similars
-
Микро- и нанотехнологии на основе когерентных и некогерентных источников излучения Учебное пособие
per: Светличный А.М -
Нанотехнологии в электронике. Введение в специальность учебное пособие
per: Лозовский В. Н.
Publicat: (2022) -
Фотонно-стимулированные технологические процессы микро- и нанотехнологии учебное пособие
per: Светличный, А. М. -
Введение в нанотехнологии учебное пособие
per: Тимошина, Ю. А. - Лазеры в микро- и наноэлектронике учебное пособие