Микро- и нанотехнологии на основе когерентных и некогерентных источников излучения учебное пособие
В пособии рассмотрены особенности обработки материалов и полупроводниковых структур лазерными и некогерентными источниками излучения: используемое оборудование, виды источников излучения, их применение для контроля технологических процессов изготовления микроструктур, получения графеновых пленок, из...
Uloženo v:
Hlavní autor: | Светличный, А. М. (070) |
---|---|
Médium: | Книга |
Témata: | |
On-line přístup: | Перейти к просмотру издания |
Tagy: |
Přidat tag
Žádné tagy, Buďte první, kdo otaguje tento záznam!
|
Podobné jednotky
-
Микро- и нанотехнологии на основе когерентных и некогерентных источников излучения Учебное пособие
Autor: Светличный А.М -
Нанотехнологии в электронике. Введение в специальность учебное пособие
Autor: Лозовский В. Н.
Vydáno: (2022) -
Фотонно-стимулированные технологические процессы микро- и нанотехнологии учебное пособие
Autor: Светличный, А. М. -
Введение в нанотехнологии учебное пособие
Autor: Тимошина, Ю. А. - Лазеры в микро- и наноэлектронике учебное пособие