Микро- и нанотехнологии на основе когерентных и некогерентных источников излучения учебное пособие
В пособии рассмотрены особенности обработки материалов и полупроводниковых структур лазерными и некогерентными источниками излучения: используемое оборудование, виды источников излучения, их применение для контроля технологических процессов изготовления микроструктур, получения графеновых пленок, из...
Сохранить в:
Hovedforfatter: | Светличный, А. М. (070) |
---|---|
Format: | Книга |
Fag: | |
Online adgang: | Перейти к просмотру издания |
Tags: |
Tilføj Tag
Ingen Tags, Vær først til at tagge denne postø!
|
Lignende værker
-
Микро- и нанотехнологии на основе когерентных и некогерентных источников излучения Учебное пособие
af: Светличный А.М -
Нанотехнологии в электронике. Введение в специальность учебное пособие
af: Лозовский В. Н.
Udgivet: (2022) -
Фотонно-стимулированные технологические процессы микро- и нанотехнологии учебное пособие
af: Светличный, А. М. -
Введение в нанотехнологии учебное пособие
af: Тимошина, Ю. А. - Лазеры в микро- и наноэлектронике учебное пособие